美国PORVAIR过滤器应用设计
名称:  美国PORVAIR过滤器应用设计
型号:  LiquiPro™系利
品牌:  PORVAIR
产地:  美国
发布时间:  2023-03-10
浏览次数:  366
产品详情

Porvair是一家专业的过滤和环境技术集团,拥有三个运营部门——航空航天与工业、实验室和金属熔体质量。他们在英国、美国、德国、荷兰和中国开展业务。Porvair Sciences是为生物技术和生命科学行业制造和开发尖端多孔塑料材料和微孔板技术的全球领导者。SELEE率先在金属过滤技术中使用陶瓷泡沫。由于对创新的承诺,SELEE始终处于所有类型熔融金属的过滤、熔体处理和转移工艺最新发展的前沿。JG Finneran Associates是一家为全球色谱、生物技术、环境和实验室社区提供独特创新产品的制造商和供应商。这些产品旨在提供可靠的性能,同时节省时间和金钱。以下就是深圳市科电远扬科技有限公司为您介绍的美国PORVAIR过滤器应用设计,深圳市科电远扬科技有限公司专注欧美国家等欧洲工业品备件,数万工业品牌及供应商,质量保证!为您提供优秀的采供服务,欢迎来电咨询合作!

美国PORVAIR的LiquiPro™过滤器和过滤器外壳系列专为以下应用而设计:
化学机械抛光(CMP)是STI、铜、氧化物或钨的关键微电子学工艺步骤。这些先进的CMP工艺需要过滤器来满足减少划痕改进以及高效去除率的严格要求。CMP过滤器主要采用先进的聚丙烯介质设计,带有聚丙烯支撑、芯、笼、用于滤芯或一次性胶囊的端盖。这些过滤器与氧化铝、胶体和二氧化铈类型的化学浆料兼容。这些适用于使用点(POU)或散装浆料输送系统(BSDS)。他们的LiquiPro™SL过滤器适用于这些应用。

美国PORVAIR过滤器CMP后清洁——在CMP后清洁过程中,应用材料Reflexion工具系列通常使用稀氢氟酸或氨溶液。这是一种带有亲水性PES膜的滤筒。他们的LiquiPro™BU过滤器专为此特定目的而设计。

美国PORVAIR过滤器PVD–镀铜过滤器专用于LAM用于镶嵌和TSV工艺的高级Cu SO4电镀工具。电化学电镀槽化学品安装有10英寸滤芯ECP过滤器。

美国PORVAIR的LiquiPro™CO系列过滤器专为去除细颗粒而设计,可在硫酸铜电镀溶液中实现电镀一致性。亲水性PTFE膜与多种电镀添加剂配合良好,可消除电镀导致的缺陷。该工具还有一个单阳极室(SAC),其中安装了一个5英寸的一次性过滤器。他们的LiquiPro™SL过滤器适用于此目的。

美国PORVAIR过滤器湿法蚀刻清洁(WEC)过滤器在清洁、蚀刻或剥离的许多前端或后端化学过程中占主导地位。在环境温度或高温下使用范围广泛的酸、碱和溶剂需要在过滤介质和硬件中采用不同的过滤器。除此之外,在关键半导体。工艺过程中,对超高纯度和低金属萃取物的需求是所有过滤器的必备条件。对于其中的许多应用,他们推荐全氟聚合物滤芯产品。LiquiPro™F2、F3和SH过滤器系列配备疏水性PTFE膜和PFA芯、笼、端盖硬件,可满足所有要求。在使用腐蚀性较低的化学品的蚀刻或剥离工艺中,可以使用带有聚丙烯硬件的含氟聚合物膜。他们的LiquiPro F2™系列非常适合这种应用。同样,在许多工具中发现的CDA(压缩干燥空气)过滤中,主要采用具有PTFE膜和PP硬件结构的筒式过滤器。LiquiPro™FG系列过滤器专为此目的而设计。
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美国PORVAIR过滤器光刻-在光刻工艺中,高粘度光刻胶与显影剂和剥离工艺一起使用各种膜材料来消除浴化学中的污染物。在显影过程中,TMAH或KOH和去离子水等化学品使用一次性过滤器形式的亲水PES膜。LiquiPro™MI系列囊式过滤器由具有HDPE支持的PES膜制成,适用于显影剂和去离子水过滤。

美国PORVAIR过滤器高级光刻胶系统通常由溶剂、光致产酸剂(PAG)、酸猝灭剂、添加剂和表面活性剂组成。LiquiPro™MI(PTFE)和PN(尼龙)系列都具有出色的过滤性能,可以去除大多数光刻胶化学品中存在的凝胶。

美国PORVAIR过滤器化学品输送系统——在散装化学品输送系统中,通常使用各种筒式过滤器来处理浆液、酸、碱和溶剂。通常,10"、20"和30"的滤芯安装有PP、PFA和不锈钢外壳。

美国PORVAIR过滤器水清洗–这是参考使用直接或再循环去离子水进行清洁和冲洗的系统。LiquiPro™DI筒式过滤器由褶皱PES膜和PP硬件构成。对于一次性类型,可提供LiquiPro™MI PP系列。

一般过滤——他们有一系列PP过滤器,无论是熔喷滤芯还是折叠式滤芯,都可用于一般过滤,包括带褶皱介质的LiquiPro™PA。过滤外壳——他们提供一系列精选的滤筒外壳,适用于高温下的腐蚀性化学品、溶剂、弱酸、碱、浆液和水:

美国PORVAIR过滤器LiquiPro™EZ PFA外壳:获得专利的PFA外壳由最高纯度的PFA制成,其特点包括节省空间的设计以及与替代PFA外壳的兼容性。
YS不锈钢外壳:电抛光不锈钢外壳,适用于70毫米和80毫米滤芯式过滤器,用于溶剂。
YP外壳:适用于许多一般应用的单筒外壳。适用于70毫米和80毫米筒式过滤器。对于直径为130毫米的过滤器,还提供uPVC外壳。

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