科电远扬优势供应瑞士VAT各类阀门型号
浏览次数:118      发布于:2024-03-12

VAT是全球领先的关键任务高真空解决方案开发商、制造商和供应商,这些解决方案是日常生活中使用的创新产品(例如便携式设备、显示器和其他实现新数字时代的设备)制造工艺所需的解决方案。VAT及其子公司在瑞士、美国等地区开发、制造和供应真空阀、多阀装置、真空模块和边缘焊接金属波纹管。以下是科电远扬小编对科电远扬优势供应瑞士VAT阀门(瑞士VAT阀门介绍)的产品信息描述,深圳市科电远扬科技有限公司优势代理瑞士VAT产品,原装正品,价格优惠,欢迎广大客户采购!

一、科电远扬优势供应瑞士VAT阀门(瑞士VAT阀门介绍)
1、瑞士VAT 61.3蝶形控制阀
瑞士VAT阀门61.3控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器(0.1秒),它是CVD和ALD工艺中精细控制的完美解决方案。该板充当节流元件并改变阀门开口的传导性。61.3的集成压力控制器计算所需的板置,以尽快达到设定压力。瑞士VAT阀门它专为气流中含有颗粒的严苛下游工艺而设计。尽管设计上存在高颗粒负载和碎片堆积,61.3仍能保持全面运行。

VAT61.3蝶形控制阀已在各种工艺条件下安装在数千个要求严格的应用中,证明了其卓越的可靠性。61.3系列凭借坚固的设计和直接安装选项,以及减少且易于维护的特点,在各个方面都令人信服。主体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自适应、固定PI下游/软泵)的各种设计选项简化了与各种真空应用的集成。

2、瑞士VAT 21.1气体计量阀
VAT阀门气体计量阀的关键性能指标是其可控性以及可靠且精确地再现流量设置的能力。瑞士VAT阀门21.1气体计量阀系列同时提供这两种功能。瑞士VAT有两种版本-一种用于粗略气体计量(DN 10 mm,½"),一种用于精细气体计量(DN 16 mm,5/8")-21.1系列由于其独立的设计,允许在关闭时不会丢失定义的流量设置关闭和计量针校准功能。通过针校准手轮,针位置和流量设置可以在非常精细的范围内调整到所需的设置。

由于打开/关闭机构独立于计量机构运行,因此在阀门打开和关闭期间保持该设置。21.1系列在各种工艺条件下进行了数千种要求严格的应用测试,证明了其卓越的可靠性。21.1气体计量阀提供粗略气体计量(DN 10 mm,½")和精细气体计量(DN 16 mm,5/8")以及手动手轮驱动的版本。粗气体计量阀体由铝制成,精气体计量阀体由不锈钢制成。两者均具有ISO-KF法兰。精细气体计量阀可使用额外的过滤器真空侧。
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3、瑞士VAT 67.0对称控制阀
67.0系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计,用作下游控制和隔离阀。一般来说,晶片周围的气流越均匀,晶片上的气体反应就越均匀和同步。这不仅在气体引入阶段如此,而且在气体从腔室排出时也是如此。瑞士VAT阀门出口位置设计或阀门操作期间的流路变化会产生不对称的气体分布,从而阻碍气体排出或产生不均匀的流速。两者都可能以不同的气体暴露时间和不平衡的对流流动的形式对晶圆造成负面影响。两者还会导致更高的工艺气体消耗和更长的工艺时间。

瑞士VAT对称控制阀流量优化的设计还允许以新的方式设计处理室。通过其特殊的打开和关闭机构,气流在整个打开和关闭循环中是对称的,从而实现前所未有的流量和压力控制。“软触感”隔离功能进一步增强了这一点。瑞士VAT阀门67.0的走势非常温和,避免了任何收盘震荡。这消除了粒子激活。瑞士VAT67.0的另一个优点是其占地面积有限。与其他解决方案相比,它需要更少的安装空间。结合流量优化的喷头和腔室设计,67.0实现了前所未有的过程控制新水平。它为提高产量质量和缩短周期时间以及提高生产率打开了大门。

4、瑞士VAT 25.7高压快速切断阀
瑞士VAT 现代截止阀的主要要求是在任何回流事件时都能可靠且快速地紧急隔离。25.7旨在提供灵敏、高速的隔离功能,可靠地防止回流到工艺室或管道系统的风险。瑞士VAT25.7 HV快速截止阀采用流量控制。没有任何子系统(传感器和执行器)的直接操作设计提供了高速隔离,复杂性低,故障风险低。从最初的回流脉冲到完全隔离,25.7的时间不到10毫秒,在同类产品中处于领先地位。作为一种安全解决方案,

VAT 截止阀理想情况下不应给系统添加电导屏障。25.7的特殊流量优化设计在这方面树立了标准,在高电导和快速隔离之间实现了完美平衡。当用于气流中含有副产品的工艺(例如前线应用)时,快速截止阀上任何污染物的积累都会降低电导率,并可能对其隔离能力产生负面影响。这一与工艺相关的挑战可以通过特殊的表面涂层来解决,该涂层可以显着减少大多数副产品的积累。瑞士VAT阀门还提供额外的加热选项,以避免过程气体在阀门表面冷凝。

二、瑞士VAT阀门部分型号分享
①瑞士VAT08.1 FV插入式闸阀
②瑞士VAT47.2 XHV RF全金属闸阀
③瑞士VAT57.0 XHV全金属角阀
④瑞士VAT54.1 UHV/XHV全金属角阀

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