VEECO设备
浏览次数:1022 发布于:2023-03-23
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VEECO设备
VEECO设备:
主要产品:
VEECO设备
VEECO激光发生器
VEECO AP 200/300光刻系统
VEECO LSA 101激光钉Anneal系统
VEECO LSA 201环境控制激光脉冲麻醉系统
VEECO 超高速4G晶片检测系统
VEECO 氧气压力控制系统
VEECO 衬底加热器
VEECO MBE系统电缆
VEECO Piezocon气体浓度传感器
VEECO 精密气体混合系统
VEECO 离子刻蚀系统
产品特点:
VEECO设备 AP 200/300
关键特征
2m分辨率宽带投影透镜设计,用于封装应用曝光波长为350-450 nm,用于处理众多的包装光敏材料。
可编程波长选择(GHI,GH,I)用于工艺优化和工艺纬度
用于厚胶工艺和大晶圆形貌的大聚焦深度
高系统吞吐量有利于系统拥有成本
可缩短曝光时间。
场尺寸为68乘26 mm,曝光两个扫描器字段,减少了每个晶片的曝光步骤数。
扭曲晶片处理达±4mm的风扇应用
无硬件转换的通用晶片处理(8和12英寸;或6和8英寸)
制作大面积插补器的现场拼接软件
完整的Secs/GEM软件包支持生产自动化和设备/过程跟踪
标签: VEECO
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